场发射扫描电子显微镜

发布时间：2019-12-12

型号： ZEISS GeminiSEM 500
厂商：德国卡尔蔡司公司

主要技术指标：

分辨率： 0.6nm @15 kV；1.1nm @1kV

放大倍数：20-2,000,000倍

加速电压范围：0.02-30 kV

探针电流： 3pA-20nA

主要用途：

亚纳米尺度材料表面微观形貌、结构及断口形貌分析。