皮秒级热反射法薄膜导热仪 PicoTR

发布时间:2022-04-02

皮秒级热反射法薄膜导热仪PicoTR


放置地点: 西区力学四楼208

主要仪器管理员:金熠(0551-63600045)施安峰(0551-63606424

主要参数:热反射方法(Thermo-Reflectance)基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(Thermal Diffusivity)、热导率(Thermal Conductivity)、吸热 系数(Thermal Effusivity)和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒(ns)量级,甚至可达到皮秒(ps)量级,此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时,系统提供不同的测量模式,以适应于不同的基片情况(透明/不透明)测量时需要在薄膜表面镀一层金属钼或者金属铝,样品宽度在1-2cm之间,材料范围为0.01~1000mm2/s,测试温度范围从-100500,要求薄膜厚度<1mm。该设备有两种模式,分别为RF模式和FF模式,FF模式要求薄膜厚度≥100nmRF模式测量树脂材料薄膜厚度在10nm~100nm,陶瓷材料在10nm~300nm,金属材料在100nm~900nm。可在真空模式下测量


 

NanoTR

PicoTR

主机

温度范围
真空度
测量模式

RT … 300°C
10-6 mbar
RF/FF

-100°C … 500°C
10-6 mbar
RF/FF

测量项目

热扩散系数,吸热系数,界面热阻

加热激光

脉冲宽度
波长
光斑直径

1 ns
1550 nm
100 μm

0.5 ps
1550 nm
45 μm

探测激光

脉冲宽度
波长
光斑直径

连续
785 nm
50 μm

0.5 ps
775 nm
25 μm

样品薄层厚度
RF 模式)

树脂
陶瓷
金属

30 nm ... 2 μm
300 nm ... 5 μm
1 μm ... 20 μm

10 nm ... 100 nm
10 nm ... 300 nm
100 nm ... 900 nm

样品薄层厚度
FF 模式)

 

> 1 μm

> 100 nm

基体

材料
尺寸
厚度

不透明/透明
10...20mm
≤ 1 mm

热扩散系数

范围
准确性
重复性

0.01 ... 1000 mm²/s
± 6.2%
± 5%