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光学外差微振动位移测量仪
 

型号:MDL-221D/MLD-821

厂商:日本NEOARK公司

 

性能指标:

一、位移信号处理

(1)位移测量范围

l z轴分辨率1nm

0.2 0.4 0.8 1.6 3.2μm/V (FS±10V)五档

l x轴分辨率4nm

0.2 0.4 0.8 1.6 3.2μm/V (FS±10V)五档

(2)测定频率 DC~100KHz

(3)最大测定速度:

 分辨率 1 nm 10mm/1sec

 分辨率 4 nm 40mm/1sec

二、速度信号处理

(1)测定范围

      Z轴 0.1 1 10 100mm/sec/V(FS±10V)四档 

     X轴 0.4 4 40 400mm/sec/V(FS±10V)四档

(2)带宽 1-1.5MHZ

(3)速度范围

 Z轴 5μm/sec~5m/sec

 X轴 20μm/sec~20m/sec

三、其它参数

  光源波长:632.8nm

  最小束径:垂直振动(Z向)10μm,水平振动(X向)15μm。

  工作台移动范围:20mm

  最小步距:10μm

使用范围:

 该设备可用于测量特征尺寸只有数微米的微器件上不同点的纳米级振动和位移信号,并给出不同点之间的相位关系,从而获知微器件整体振动模态。

 
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