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双频激光干涉仪
 

 

 

• 生产商:Agilent公司 

• 型号:5530

• 工作温度:0-40 ℃

• 工作湿度:10%-90%

• 工作气压:70-110 KPa 

• 简介:双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。与单频激光干涉仪一样,双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器,但是具有更好的抗干扰能力和测量精度。 

• 用途:双频激光干涉仪可以在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺和坐标测量机等;可以对几何量如长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量等;既可以对几十米的大量程进行精密测量,也可以对手表零件等微小运动进行精密测量。

• 激光参数 

• He-Ne激光 

• 真空波长:632.991354nm

• 波长精度:±0.1ppm

• 波长稳定性:±0.002ppm(1小时内) ±0.02ppm(无限时长)

• 长度、速度测量指标 

• 测量范围:40m

• 分辨率:1nm

• 最大轴向测量速度:±0.7m/s

• 速度测量精度:[(2μm/s)/速度 +0.01] % 示值 

• 角度测量指标 

• 测量范围:±20 °

• 测量分辨率:0.005″

• 测量精度:±0.2 % 示值 

• 旋转台指标 

• 测量范围:不限 

• 分辨率:0.36 ″

• 精度:±1.0 ″ 

 
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