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场发射透射电子显微镜(FETEM)
 

 

名称:场发射透射电子显微镜(FETEM)

型号:JEM-2100F

厂商:日本电子株式会社

主要性能指标:

分辨率

 点分辨率

0.19nm

 线分辨率

0.1nm

加速电压

200kV

 加速电压最小步长

50V

束斑尺寸(直径)

 TEM 模式

2~5nm 

 EDS/NBD/CBD 模式

0.5~2.4nm 

会聚束电子衍射(CBED)

 会聚角(2a)

1.5~20 mrad 

 接受角

±10°

放大倍数

 LOW MAG 模式

×50~6,000

 MAG 模式

×2,000~1,500,000

 SA MAG 模式

×8,000~800,000

相机长度

 SA DIFF模式

80~2,000mm

 HD衍射模式

4~80m

 HR衍射模式

333m

样品室

 X、Y方向样品平移

2mm

 Z方向样品平移

±0.1mm

 样品倾斜角度

X; ±25°,Y; ±25°

扫描透射装置(STEM)

 明场像分辨率

0.2nm

X射线能谱分析

 固体角

0.13sr

 取出角

25°

仪器功能: 

1.TEM明、暗场成像观察;

2.超高分辨晶格像观察; 

3.STEM明场、HAADF暗场成像观察; 

4.选区电子衍射;

5.汇聚束和纳米束电子衍射; 

6.EDS微区化学元素分析;

7.EDS元素线扫描和面扫描像(mapping像)。

应用范围:

1. 材料微观组织、形貌、尺度等显微结构观察和分析;

2. 物相晶体结构、缺陷及取向关系检测和分析;

3. 材料微区化学元素组成和分布检测和分析。

 
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