工程与材料科学实验中心微系统实验室自建成开放至今已历16年，设备总值1570万，其中50万元以上13台套，2019年对外服务达13000小时。本实验室坚持两个主要的服务方向，一是提供微结构加工平台，包括常用的光刻设备、薄膜制备设备、硅基和非硅基的加工设备、飞秒激光加工设备等；另一方面是性能测试平台，包括微纳形貌特征检测设备、微纳米尺度振动和力学特性检测设备、微流控以及与生命科学交叉相关的观察、检测设备等等。
实验室现拥有面积约300平方米的洁净室(包括千级光刻和化学区，万级的微纳加工、激光加工区和十万级的测量检测区)。侧重于微米尺度结构研究的支撑和服务，包括紫外光刻硅工艺的微米器件及系统、生物微机电系统、基于压电陶瓷的微系统设计、飞秒激光微纳米制造技术、扫描探针显微镜测量及其标准化。
实验室联系方式：朱老师 0551-63601478/63607405-1
工艺能力 运行模式
实验室仪器设备一览