型号： EM ACE200/EM ACE600
厂商：德国徕卡公司
主要技术指标：
极限真空度：≤7×10 -3 mbar（EM ACE200）
≤10-6 mbar（EM ACE600）
最大溅射电流：150mA
镀膜厚度：1-100nm可调（EM ACE600）
1-100nm膜厚监控（EM ACE600）
主要用途：
不导电材料表面蒸镀导电膜。
型号： EM ACE200/EM ACE600
厂商：德国徕卡公司
主要技术指标：
极限真空度：≤7×10 -3 mbar（EM ACE200）
≤10-6 mbar（EM ACE600）
最大溅射电流：150mA
镀膜厚度：1-100nm可调（EM ACE600）
1-100nm膜厚监控（EM ACE600）
主要用途：
不导电材料表面蒸镀导电膜。