型号：5530
厂商：美国Agilent公司
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。与单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器，但是具有更好的抗干扰能力和测量精度。
长度、速度测量指标
测量范围：40m 分辨率：1nm
最大轴向测量速度：±0.7m/s
速度测量精度：[(2μm/s)/速度 +0.01] % 示值
激光参数
He-Ne激光 真空波长：632.991354nm
波长精度：±0.1ppm
波长稳定性：±0.002ppm（1小时内）
±0.02ppm（无限时长）
工作环境
温度：0-40 ℃ 湿度：10%-90%
工作气压：70-110 KPa
旋转台指标
测量范围：不限
分辨率：0.36 ″ 精度：±1.0 ″
角度测量指标
测量范围：±20 °
测量分辨率：0.005″
测量精度：±0.2 % 示值
主要用途：
双频激光干涉仪可以在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺和坐标测量机等；可以对几何量如长度、角度、直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量等；既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量。