型号：Contour GT-K
厂商：德国Bruker公司
设备参数：
测量范围：PSI模式≤160nm
VSI模式≥160nm
垂直测量范围：0.1nm 至 1mm
全量程闭环扫描
垂直分辨率：<0.1nm Ra
RMS重现性：0.01nm
垂直扫描速度：达7.2μm/s以上
横向分辨率：0.08 - 13.1μm
视场范围：8.24mm - 0.05mm
主要用途：
Bruker光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害。视样品选择不同测量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度；垂直扫描干涉模式(VSI)则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。