皮秒级热反射法薄膜导热仪 PicoTR

皮秒级热反射法薄膜导热仪PicoTR

放置地点： 西区力学四楼208室

主要仪器管理员：金熠（0551-63600045）施安峰（0551-63606424）

主要参数：热反射方法（Thermo-Reflectance）基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如热扩散系数（Thermal Diffusivity）、热导率（Thermal Conductivity）、吸热 系数（Thermal Effusivity）和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应于不同的基片情况（透明/不透明）。测量时需要在薄膜表面镀一层金属钼或者金属铝，样品宽度在1-2cm之间，材料范围为0.01~1000mm²/s，测试温度范围从-100℃到500℃，要求薄膜厚度＜1mm。该设备有两种模式，分别为RF模式和FF模式，FF模式要求薄膜厚度≥100nm，RF模式测量树脂材料薄膜厚度在10nm~100nm，陶瓷材料在10nm~300nm，金属材料在100nm~900nm。可在真空模式下测量。