纳秒级热反射法薄膜导热仪 NanoTR

发布时间：2022-04-02

纳秒级热反射法薄膜导热仪NanoTR

放置地点： 西区力学四楼208室

主要仪器管理员：金熠（0551-63600045）施安峰（0551-63606424）

主要参数：设备适用于测量薄膜材料的热扩散系数，测量时需要在薄膜表面镀一层金属钼或者金属铝，样品宽度在1-2cm之间，材料范围为0.01~1000mm²/s，测试温度范围从室温到300℃，要求薄膜厚度＜1mm。该设备有两种模式，分别为RF模式和FF模式，FF模式要求薄膜厚度≥1μm，RF模式测量树脂材料薄膜厚度在30nm~2μm，陶瓷材料在300nm~5μm，金属材料在1μm~20μm。

		NanoTR	PicoTR
主机	温度范围真空度测量模式	RT … 300°C 10^-6 mbar RF/FF	-100°C … 500°C 10^-6 mbar RF/FF
测量项目	热扩散系数，吸热系数，界面热阻
加热激光	脉冲宽度波长光斑直径	1 ns 1550 nm 100 μm	0.5 ps 1550 nm 45 μm
探测激光	脉冲宽度波长光斑直径	连续 785 nm 50 μm	0.5 ps 775 nm 25 μm
样品薄层厚度（RF 模式）	树脂陶瓷金属	30 nm ... 2 μm 300 nm ... 5 μm 1 μm ... 20 μm	10 nm ... 100 nm 10 nm ... 300 nm 100 nm ... 900 nm
样品薄层厚度（FF 模式）		> 1 μm	> 100 nm
基体	材料尺寸厚度	不透明/透明 10...20mm 方 ≤ 1 mm
热扩散系数	范围准确性重复性	0.01 ... 1000 mm²/s ± 6.2%（ ± 5%